杭州某光电器件集成电路芯片生所产生产商，晶圆生产制作操作过程中所产生含硅、氟的独特生产废水治理工艺，制作加工规模化1200吨/日。生产废水治理工艺有效成分繁复，具有刺激性微米级硅颗粒物及氢佛酸，民俗加工的方式无从及格。 生产废水材料及特征 一般环保问题物 ：橡胶胶体部分硅（100-500nm粒度分布）、氟铝离子（200-300mg/L）、异丙醇 渠道多种工序 ：晶圆刻蚀生活污水（45%）、CMP药剂学自动化装置cnc精密机械加工生活污水（40%）、装置冲干净水（15%） 整理标准流程标准流程 的创新主要包括"化学物质沉淀物中+特种车辆膜溶合"方法途径： 钙盐沉垫 ：添加氯化钙彻底清除氟阳离子（转化成CaF2析出） 斜板沉淀池生理反应 ：塑料斜管沉淀池剂进行电解质溶液硅脱稳 管式微滤 ：0.1μm钻孔大小膜挪作他用微细粒状 反渗整体 ：脱盐率>98%，再利用率75% 化掉心得 ：浓水段建立氟化物零摆放 既定作用 氟化物渗透压：<8mg/L（大于的国家五级规范10mg/L） 硅的含量：<5mg/L 水的资源中水回用率：70%使用于加热塔补湿 危险废弃物回收利用：挥发食物残渣量较傳統加工过程减小60%