某半导体行业集成块我们厂在晶圆生产过程中中,在使用硅烷参与硅外加滋生,汽车尾气清洗塔生成高有机废气浓度含硅污生活污水 。污生活污水 兼备pH跌涨大(2-11)、硅含锌量高的优点和缺点,过去整理工艺易出来硅垢闭塞一些问题。
废水处理方法的成分及渠道
污废水 基本的成分为:
溶化性硅酸盐
:SiO₂有机废气浓度达1000-1500mg/L
盐酸/氢阳极氧化钠
:洗洁塔酸碱平衡洗洁液残渣
粒状硅
:纳米级级SiO₂氢氧化铁
痕量砷
:材质残渣携带
整理工艺设备过程
技术创新用"两极采和+膜过滤系统+挥发晶粒"加工过程:
1阶段结合
:用CaO调结pH至4-5,产生硅酸钙结晶,硅出掉率60%。
二级考试中合
:加Na₂CO₃将pH提高至9,进每一步发展已用硅,串联用镁剂除砷。
反渗透装置设备
:0.02μm卫浴陶瓷膜过滤水奈米级硅粒状,通量动态平衡在80LMH。
MVR多效冷疑器
:高浓高盐污废水 ,析出出Na₂SO₄副设备,水使用率超90%。
最中治疗效果
总硅从1500mg/L低于5mg/L如下
砷含氧量从0.8mg/L降落到0.01mg/L
控制系统无结渣工作超越2年
年回收公司氢氧化钾钠结晶体约800吨