该案列源自华南的地区的一家新型半导体器件制造技术公司客户,其主要生產一体化三极管心片。在生產整个过程中,晶圆的清洗、蚀刻等生产工艺需的使用更多光电子级磷酸(饱和度≥85%),所以诞生高氨水浓度含磷废渣。公司客户多余治理建筑设施不可需求日趋严格的的减排准则(TP≤0.5mg/L),急用升级系统变革。
废污水组成成分及特征
生产焦化生产废渣基本从何而来于6个要素:晶圆家电清洗生产焦化生产废渣(占总出水量60%)、装置情况呢生产焦化生产废渣(30%)相应地面的情况呢生产焦化生产废渣(10%)。水的质量本质特征表面为:pH值1.5-2.5,总磷溶度800-1200mg/L,氟阴阳离子硫含量50-80mg/L,COD约200-300mg/L,并包含有少量高价属(铜、锌等)。
办理新工艺方法
新项目分为"预处里+化学工业沉定+初中级阳极氧化+深层次油烟净化器"的乐队组合方法:
转换池
:动态平衡水质检测水流量,具有pH高清在线监控站系统
特级生理反应池
:加药石灰石乳上下调整pH至8.5-9.0,组成Ca3(PO4)2发展
2级不起作用池
:获取PAC和PAM增强二沉池功能
斜板奠定池
:保证固液分割,活性污泥流入脱水过滤系统的
Fenton钝化单园
:H2O2与Fe²⁺协同作战用光降解生物碳物
多有机溶剂筛选器
:石英石砂+活性氧炭组合起来滤过,确保安全生产喷水清辙
阳离子互相交换系统性
:进几步清掉多余不锈钢阳离子
决定性目的
模式运营比较稳定后,留水水质量:总磷≤0.3mg/L,COD≤30mg/L,氟铝离子≤5mg/L,各类完成指标相对比较《电子器材鑫霖环保水环保问题物废气标准单位》(GB 39731-2020)。几乎每年减掉磷废气约15吨,污泥处理诞生量较普通加工制作工艺 降低了40%,运营的成本掌控在8.两元/吨水。